第203章 奠基石（3 / 6）
这个新技术,被精密仪器公司命名为“浸入式光刻技术”。
听起来,似乎是个很了不起的发明。
但等到萧强明白其原理,当场就愣住了。
浸入式光刻技术,就是在光刻镜头,与待刻地硅晶片之间,充满液体!
简单到萧强以为汪工等人,被他逼急了。所以拿出这个荒谬的说法来糊弄他。直到听汪工讲解了其中原理,并在实验室,现场看到了一台经过改装的小型八百纳米光刻机。成功地刻制出五百五十纳米地密集图形。才一下动了心。
通常的光刻机,在光刻镜头与硅晶元之间,没有任何遮挡。
当然,从另一个方面来说,他们中间。充斥的是空气。
浸入式的思路,就是用液体。来替换中间的空气。由于液体具有折光率,所以当紫外线光通过液体介质后,其光源波长会缩短。从而起到精微刻制的作用。
用主流的三百六十纳米技术来说,采用折射率为一点五的液体,其光波就能变成二百四十纳米!
而寰宇公司费尽心机弄回来的二百四十八纳米地光刻机,采用了一点五地浸入式技术,立即就摇身一变,成为一百六十五纳米光刻机,远远超过现有的光刻技术!
其实浸入式光刻,并非寰宇公司首创。但真正长期将其作为一个研究项目的研究单位,全世界也只有寰宇公司。
光刻技术的发展,从一代技术向下一代技术发展地时候。总会出现瓶颈。
因此,早在八零年。就有科学家采用浸入技术,成功地提高了光刻效果。然而,由于浸入式光刻技术,它的液体很容易污染光学镜片,所以主流光刻技术研究,只是将其作为一个过渡手段,没有重视。一旦下一代光刻技术成熟,便毫不犹豫地抛弃浸入式光刻。
但寰宇公司不同。
汪工等精密仪器公司的研究人员。虽然使出浑身解数。但限于光学技术的制约。在光刻机上,总是落后于西方。
穷则变。变则通。
他们为了改进光刻精度。把所有可以利用的技术,都使用遍了。最后,经过反复研究。他们在不放弃光学研究地同时,将主要精力。都投入了浸入式光刻技术的研究,并于近期,取得了极大地成果。
他们开发出了全套地浸入式技术。
如折光率不同的液体,就从一点五五到二不等的多种浸入式液体材料。
而影响到光刻效果的液体泡沫、透光率、专用光刻胶等等相关研究,也取得了巨大的成功,已经初步可以实用化。
精密仪器实验室,已经选定了一种特制液体,作为浸入式光刻技术地主要材料。
这种液体的折射率高达一点七。通过实验和技术手段改进,其透光率也完全可以应用于大规模生产。
只要汪工等将光刻机改造成功。寰宇公司将马上得到两套一百四十五纳米超高精度的光刻机。只此一项,就可以让寰宇公司遥遥领先世界水平!
寰宇公司也对这项成熟技术。进行了最严密的保护。
在国外热衷于更高精度开发光学镜片、而忽略浸入式光刻技术地时候,他们已经为此作了大量的工作。积累了丰富的经验。
这样,哪怕国外推出再先进地光刻机,他们也马上可以利用浸入式技术。超过对手。
而且,这种技术更大地优势在于成本。
新开发地光刻技术,还存在技术不成熟、良品率过低地情况。但寰宇公司所采用的浸入式光刻技术,依托地却是早已成熟的光刻机,在解决了一些液体材料方面的难题之后,其良品率,比新技术要高出数倍!
他们只需要使用不同折射率的液体,就能得到不同精度的光刻机!
汪工他们申请了一台超级计算机,用作设备改造专用。 ↑返回顶部↑
听起来,似乎是个很了不起的发明。
但等到萧强明白其原理,当场就愣住了。
浸入式光刻技术,就是在光刻镜头,与待刻地硅晶片之间,充满液体!
简单到萧强以为汪工等人,被他逼急了。所以拿出这个荒谬的说法来糊弄他。直到听汪工讲解了其中原理,并在实验室,现场看到了一台经过改装的小型八百纳米光刻机。成功地刻制出五百五十纳米地密集图形。才一下动了心。
通常的光刻机,在光刻镜头与硅晶元之间,没有任何遮挡。
当然,从另一个方面来说,他们中间。充斥的是空气。
浸入式的思路,就是用液体。来替换中间的空气。由于液体具有折光率,所以当紫外线光通过液体介质后,其光源波长会缩短。从而起到精微刻制的作用。
用主流的三百六十纳米技术来说,采用折射率为一点五的液体,其光波就能变成二百四十纳米!
而寰宇公司费尽心机弄回来的二百四十八纳米地光刻机,采用了一点五地浸入式技术,立即就摇身一变,成为一百六十五纳米光刻机,远远超过现有的光刻技术!
其实浸入式光刻,并非寰宇公司首创。但真正长期将其作为一个研究项目的研究单位,全世界也只有寰宇公司。
光刻技术的发展,从一代技术向下一代技术发展地时候。总会出现瓶颈。
因此,早在八零年。就有科学家采用浸入技术,成功地提高了光刻效果。然而,由于浸入式光刻技术,它的液体很容易污染光学镜片,所以主流光刻技术研究,只是将其作为一个过渡手段,没有重视。一旦下一代光刻技术成熟,便毫不犹豫地抛弃浸入式光刻。
但寰宇公司不同。
汪工等精密仪器公司的研究人员。虽然使出浑身解数。但限于光学技术的制约。在光刻机上,总是落后于西方。
穷则变。变则通。
他们为了改进光刻精度。把所有可以利用的技术,都使用遍了。最后,经过反复研究。他们在不放弃光学研究地同时,将主要精力。都投入了浸入式光刻技术的研究,并于近期,取得了极大地成果。
他们开发出了全套地浸入式技术。
如折光率不同的液体,就从一点五五到二不等的多种浸入式液体材料。
而影响到光刻效果的液体泡沫、透光率、专用光刻胶等等相关研究,也取得了巨大的成功,已经初步可以实用化。
精密仪器实验室,已经选定了一种特制液体,作为浸入式光刻技术地主要材料。
这种液体的折射率高达一点七。通过实验和技术手段改进,其透光率也完全可以应用于大规模生产。
只要汪工等将光刻机改造成功。寰宇公司将马上得到两套一百四十五纳米超高精度的光刻机。只此一项,就可以让寰宇公司遥遥领先世界水平!
寰宇公司也对这项成熟技术。进行了最严密的保护。
在国外热衷于更高精度开发光学镜片、而忽略浸入式光刻技术地时候,他们已经为此作了大量的工作。积累了丰富的经验。
这样,哪怕国外推出再先进地光刻机,他们也马上可以利用浸入式技术。超过对手。
而且,这种技术更大地优势在于成本。
新开发地光刻技术,还存在技术不成熟、良品率过低地情况。但寰宇公司所采用的浸入式光刻技术,依托地却是早已成熟的光刻机,在解决了一些液体材料方面的难题之后,其良品率,比新技术要高出数倍!
他们只需要使用不同折射率的液体,就能得到不同精度的光刻机!
汪工他们申请了一台超级计算机,用作设备改造专用。 ↑返回顶部↑